變送器的發(fā)展將有以下幾大方向： 

          MEMS工藝和微變送器 ：在硅平面工藝基礎上發(fā)展起來的一種通用的精密三維加工技術，是研究變送器、微執(zhí)行器、微機械系統(tǒng)的MEMS工藝較好的素材。

          MEMS技術在國外的發(fā)展已經有30年的歷史。應用MEMS工藝，不僅可以制造簡單的三維微結構，而且可以做成三維運動結構和復雜的力平衡結構，使現代變送器技術從單一的物性型進入以微電子和微機械集成技術為主導的發(fā)展階段。微機電變送器的優(yōu)良性能和好的性價比，將取代傳統(tǒng)的變送器而占有較大的市場份額。

          集成工藝和集成變送器：采用混合集成工藝，將微變送器、微驅動器、微執(zhí)行器以及信號處理器和控制電路、接口、通訊和電源等組成一體化系統(tǒng)。

          集成工藝的進一步發(fā)展，可以使硅微變送器和微電子系統(tǒng)以及微執(zhí)行器制造在一個芯片上形成單片集成，構成一個閉環(huán)工作系統(tǒng)，這不僅是傳感技術概念的擴展和引申，還會在工業(yè)過程控制、航空航天、生物醫(yī)學等方面發(fā)揮作用。 

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